安川 SEMISTAR-MR124 半導體晶片搬運用機器人適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版,引領(lǐng)業(yè)界的高性能!供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時(shí)的高速搬運。
半導體晶片搬運用機器人
負載:-
動(dòng)態(tài)范圍:1215mm
控制柜:SR100
用途:搬運、半導體
大動(dòng)作范圍:EFEM模塊移動(dòng)距離可達4套應用設備,無(wú)需使用底架,極大地提高了搬運效率。
高速搬運:300枚/小時(shí)
適用:300mm-450mm晶片搬運
*1:本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著(zhù),450mm:真空吸)
*2:300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時(shí)
*3:機械臂回旋中心位置~晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時(shí))
*4:根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯(lián)系。石英晶體也可對應(有業(yè)績(jì))。但是根據石英規格,本公司需要進(jìn)行評價(jià)和調整。
*5:在0.3m/s的流量下,機械臂進(jìn)行真空吸附