MCL,MFL,MFS系列

安川 SEMISTAR-VD95D 雙腕玻璃基板搬運機器人

類(lèi)別: MCL,MFL,MFS系列日期:2018-04-24 10:58:55
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       安川 SEMISTAR-VD95D 雙腕玻璃基板搬運機器人適用于真空環(huán)境內*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!

       雙腕玻璃基板搬運機器人
       負載:95KG
       動(dòng)態(tài)范圍:2300mm
       控制柜:DX100
       用途:搬運、潔凈室

安川 SEMISTAR-VD95D 雙腕玻璃基板搬運機器人實(shí)物圖

       大動(dòng)作范圍:*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
       手臂采用連桿機構實(shí)現高鋼性。
       采用真空內傳送帶驅動(dòng)實(shí)現低放出氣體性能。
       手臂可內置基板傳感器用配線(xiàn)。

安川 SEMISTAR-VD95D 雙腕玻璃基板搬運機器人

       *1:動(dòng)作節拍不保證帶有基板時(shí)搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產(chǎn)生共振時(shí),會(huì )影響動(dòng)作節拍,請重新設定。
       *2:依據JIS B8432標準的動(dòng)作重復定位精度。但有無(wú)工件時(shí)負載變動(dòng)以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。

 

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